ÀúÈñ ½Ã½º³Ø½º´Â 2000³â Green, Blue
LED ¹× LD »ý»êÀ» À§ÇÑ Àü°øÁ¤ ÀåºñÀÎ
GaN¿ë MOCVD(Marvel ½Ã¸®Áî)¸¦ Ãâ½ÃÇÑ ÀÌ·¡ ²÷ÀÓ¾ø´Â ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇÏ¿©
ÃÖ±Ù¿¡´Â Èĸ·¼ºÀå ÀåÄ¡ÀÎ HVPE(Wonder ½Ã¸®Áî)¸¦ ¿Ï¼ºÇÏ¿´°í ¾Æ¿ï·¯ ¹ß±¤Ã¼ÀÇ
°íÈÖµµ ½ÇÇöÀ» À§ÇÑ Wafer-bonder(Focus ½Ã¸®Áî) ¹× °øÁ¤ È¿À²¼º È®º¸¸¦
À§ÇÑ
Susceptor-baker(Volca ½Ã¸®Áî)µµ ±¹³» À¯¼ö¾÷ü¿¡ ³³Ç°¿¹Á¤À¸·Î ÀÖ½À´Ï´Ù.
ƯÈ÷ ±×°£ ÀúÈñÀÇ Marvel ½Ã¸®Á ÅëÇÏ¿©
½ÃÀå¿¡¼ ÀÔÁõµÈ ÀúÈñ °íÀ¯ÀÇ Heating
Method ¹× Process»óÀÇ ÀçÇö¼º, ±ÕÁú¼º°ú Àåºñ ¿î¿ëºñ¿ëÀÇ Àý°¨È¿°ú´Â ¸¹Àº
°í°´µéÀÇ Æò°¡¸¦ ÅëÇÏ¿© ¼¼°èÀûÀ¸·Îµµ µ¶Ã¢ÀûÀÌ°í °æÀï·ÂÀÖ´Â Àåºñ·Î ºÎ°¢µÇ°í
ÀÖÀ¸¸ç À̸¦ ±â¹ÝÀ¸·ÎÇÑ Wonder ½Ã¸®Áî, Focus ½Ã¸®Áî ¹× Volca ½Ã¸®Áî
¶ÇÇÑ
±× ¼³°èÀÇ µ¶Ã¢¼º ¹× ¿Ï¼ºµµ¸é¿¡¼ °í°´µé·ÎºÎÅÍ °ý¸ñÇÒ¸¸ÇÑ Æò°¡¸¦
¹ÞÀ½À¸·Î½á ¼¼°è ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ÀÏÁ¶Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀúÈñ ½Ã½º³Ø½º ÀÓÁ÷¿ø ¸ðµÎ´Â ÇÏ·çÇÏ·ç ±Þº¯ÇÏ´Â
±â¼úÀÇ º¯È ¼Ó¿¡¼ ¼¼°è
ÃÖ÷´Ü ±â¼ú·Â¸¸ÀÌ Æò¼Ò °í°´ ¿©·¯ºÐÀÇ °ü½É°ú ¼º¿ø¿¡ º¸´äÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±æÀÓÀ»
ÀÚ°¢ÇÏ°í °í°´´ÔµéÀÇ ¿µ¿øÇÑ µ¿¹ÝÀÚ°¡ µÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
¾ÆÁ÷ ¸¹Àº ³»¿ëÀ» ´ãÁö´Â ¸øÇÏ¿´½À´Ï´Ù¸¸ ºÎµð
ÀÌ È¨ÆäÀÌÁö¸¦ ÅëÇÏ¿© ÀúÈñ
ȸ»ç¿Í ÀúÈñ ±â¼úÀ» ÀÌÇØÇϽôµ¥ µµ¿òÀÌ µÇ½Ã±æ ¹Ù¶ó¸ç ¾Æ¿ï·¯ ±âȸÀִ´ë·Î
ÀúÈñ ÇöÀåÀ» Á÷Á¢ ¹æ¹®ÇϽþî ÀúÈñ ÀåºñµéÀÇ ¼º´ÉÀ» È®ÀÎÇÏ½Ã°í ¸¹Àº Áöµµ¿Í
Æí´ÞÀÌ ÀÖÀ¸½Ã±æ ºÎʵ右´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.
|