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  2007/04 단결정 질화갈륨 기판의 제조방법 특허등록
(등록번호 : 제 0763467호)
  2007/05 질화물 반도체 발광소자 및 제조방법 특허등록
(등록번호 : 제 0767258호)
  2007/06 회사자본금 3,000백만원으로 증자
  2007/09 국내 시장에 HVPE 공급

  2006/04 GaN MOCVD 해외 수출
  2006/07 광주과학기술원에 Wafer Bonder 기증
  2006/08 삼성그룹사에 MOCVD, HVPE 납품
  2006/09 경북대학교 MOCVD 현대화 작업
  2006/12 광주과학기술원 ZnO MOCVD 납품

  2005/08 전북대학교 MOCVD 현대화 작업
  2005/09 화학기상증착반응기 특허등록 (등록번호 : 제 0513920호)
  2005/10 전남대학교 MOCVD 현대화 작업
  2005/12 경북대학교에 Marvel 260NT 납품

  2004/02 에피밸리(주)에 260A 납품
  2004/03 (주)제니컴에 260S 납품
  2004/10 한국신기술인증서(NT 마크) 획득
  2004/11 삼성종합기술원에 HVPE 납품

  2003/04 삼성종합기술원에 MARVEL 260S 1기 납품
  2003/09 MOCVD 용 Reactor 특허등록 (등록번호 : 제 0402332 )
  2003/12 INNO-BIZ 기업으로 선정

  2002/03 MARVEL 260A 개발 및 Demo Room 완공
  2002/05 벤처기업등록 (신기술 개발 기업)
  2002/06 기술연구소 설립

  2001/05 GaN MOCVD MRVEL 260 (6x2˝) 개발
  2001/08 MARVEL 260 3기 납품
  2001/10 회사이전(대전시 유성구 상대동 439-2)

  2000/05 법인 설립(사업자등록번호 : 305-81-37814)
  2000/08 GaN MOCVD MARVEL 180 (1x2˝) 개발
  2000/11 MARVEL 180 2기 납품
  2000/12 회사자본금 1,500백만원으로 증자

 
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